截至9:46，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.71%，成分股天岳先进上涨5.71%，和林微纳上涨3.75%，华兴源创上涨1.83%，艾森股份上涨1.56%，明志科技上涨1.33%半导体 。科创半导体ETF（588170）上涨0.71%，最新价报1.14元。
从资金净流入方面来看，科创半导体ETF近5天获得连续资金净流入，最高单日获得4155.78万元净流入，合计“吸金”1.09亿元，日均净流入达2188.34万元半导体 。
相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司半导体 。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。
半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游半导体 。
每日经济新闻